원문정보
The Extraction of PEB parameters for Chemically Amplified Resist
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목차
요지
Abstract
1. 서론
2. Theory
2.1 PEB 시 비보호 활성화 에너지
2.2 비보호 증폭률(kamp)
3. 실험
3.1 실험 조건
3.2 실험 결과
4. 결론
참고문헌
Abstract
1. 서론
2. Theory
2.1 PEB 시 비보호 활성화 에너지
2.2 비보호 증폭률(kamp)
3. 실험
3.1 실험 조건
3.2 실험 결과
4. 결론
참고문헌
저자정보
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