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냉각수 가열장치의 온도 최적화를 위한 열전도 해석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.1 2022 pp.33-38
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Coolant Heater의 기밀성 품질 향상을 위한 Leak Test Machine 구조 개선
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.2 2021 pp.14-18
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.4 2021 pp.134-140
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.1 2019 pp.117-122
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