원거리 플라즈마 화학기상증착법을 사용하여 증착한 비정질 탄화규소 막의 증착조건에 따른 특성 및 증착 균일도 변화
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.47 No.3 2010 pp.262-267
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HMDS 소스와 C2H2 희석기체를 이용하여 PECVD로 증착한 비정질 SiC막의 유전상수 변화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.66
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[Kisti 연계] 한국정보처리학회 한국정보처리학회 학술대회논문집 2005 pp.241-244
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[NRF 연계] 한국소비자원 소비자문제연구 Vol.45 No.3 2014.12 pp.307-327
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