Chemical Mechnical Polishing(CMP) 공정후의 금속오염의 제거를 위한 건식세정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.2 2000 pp.102-109
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.8 1998 pp.751-756
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
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