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Spectroscopic Ellipsometry를 이용한 Critical Dimension 구조 분석

변준석, 공태호, 한승호, 정진모, 김영동, 유이인, 박규창

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.351

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

전자 방출 소자 적용을 위한 탄소나노튜브의 성장 연구

유제황, 유이인, 김기서, 문종현, 장진, 박규창

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.126

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표면처리를 이용한 박막기판의 친수.소수 상태 변화 및 Ag pattern 형성 연구

추병권, 최정수, 유이인, 박규창, 장진

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.85

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