300 mm 실리콘 웨이퍼용 고속 관통전극 깊이 계측 장비 개발
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.34 No.5 2017 pp.311-314
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[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회지 Vol.27 No.4 2016 pp.143-150
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신경망 모델과 CUSUM 제어차트를 결합한 인-시츄 플라즈마 감시
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 pp.89-90
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.225-226
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[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2007 pp.1801-1802
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