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HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각
최병수, 엄지훈, 엄해지, 전대우, 황승구, 김진곤, 윤영훈, 조현
[Kisti 연계] 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 Vol.32 No.1 2022 pp.40-44
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