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소부재 연속/공용 절단 데이터 생성 프로그램 개발

현성열, 오성권, 허옥재, 심현상

[Kisti 연계] 대한조선학회 대한조선학회 학술대회논문집 2011 pp.101-105

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 구리배선용 텅스텐 나이트라이드 확산 방지막의 특성 평가

박지호, 심현상, 김용태, 김희준, 장호정

[Kisti 연계] 한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 2004 pp.195-198

(Tungsten Nitride Diffusion Barrier with using New Pulse Plasma Atomic Layer Deposition for Ultra Large Scale Integration Copper Interconnection)

박지호, 심현상, 김용태, 김희준, 장호정

[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2004 p.27

$Pt/HfSi_xO_y/Silicon$ 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅, 염민수, 심현상, 김성일, 성만영, 김용태

[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2002 pp.145-146

$CoSi_{2}$ 에피박막을 확산원으로 이용하여 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

구본철, 심현상, 정연실, 배규식

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.5 1998 pp.470-473

코발트 폴리사이드 게이트전극 형성에 관한 연구

심현상, 구본철, 정연실, 배규식

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.6 1998 pp.499-504

$CoSi_2$를 확산원으로 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

구본철, 정연실, 심현상, 배규식

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.154

코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

심현상, 구본철, 배규식

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.14

CoSi$_2$를 As의 확산원으로 형성한 매우 얇은 n+/p 접합의 전기적 특성

구본철, 정연실, 심현상, 배규식

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1997 pp.242-245

기판에 따른 CoSi$_2$의 열적안정성

심현상, 구본철, 김종렬, 배규식

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.71