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BPSG막의 Flow 특성

홍성현, 이종무, 송성해

[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.26 No.3 1989 pp.381-389

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HCL가스에 의한 실리콘 기판의 에칭

조경익, 윤동한, 송성해

[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會誌 Vol.21 No.5 1984 pp.41-45

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