Deep cavity를 가진 Cap Wafer와 MEMS 소자의 Polymer Wafer bonding
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2011 pp.1702-1703
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
연 X-선 결상현미경 시스템의 조명광학소자 나노위치 제어에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회 학술대회논문집 2005 pp.350-351
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