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나노 구체 리소그라피법에 Ashing과 Annealing 효과를 적용하여 크기조절 가능한 나노패턴의 제조
이유림, 마흐붑 알람, 김진열, 정우광, 김승대
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.20 No.10 2010 pp.550-554
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