냉음극 변압기 플라즈마와 TEOS 소스를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.164
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Pulsed DC $BCl_3/SF_6$ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 선택적 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.67
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저진공 펄스 직류 전원 $BCl_3/SF_6$ 플라즈마를 이용한 GaAs/$Al_{0.2}Ga_{0.8}As$ 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.261
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저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.137
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냉음극 변압기 플라즈마와 액체 소스를 이용한 p-SiO2 박막 증착
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.129
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Pulse DC $O_2$ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.105
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펄스 직류 전원 $BCl_3$/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.159
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