Buffered Oxide Etch 세정에 의한 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 개선
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 Vol.41 No.8 2004 pp.31-36
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