반도체 및 LCD 공정이 TMP 성능에 미치는 영향 및 대응 방안
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.60
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
반도체 산업에 있어서의 진공 펌프 소비 전력 절감 방안
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.4 2008 pp.278-291
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iXH Pump - New Next Generation Dry Vacuum Pump for Semiconductor and FPD Industry
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.356
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반도체 및 FPD 분야에 사용되는 $SiH_{4}$ 가스의 공정 안전 고찰
[Kisti 연계] 한국안전학회 Journal of the Korean Society of Safety Vol.22 No.4 2007 pp.32-36
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반도체 제조용 진공 펌프 신제품 개발에 미치는 외부 요인들
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.57
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