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RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO<SUB>2 박막의 구조 및 광학적 특성
강계원, 이영훈, 곽재천, 이동구, 정봉교, 박성호, 최병호
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.12 No.6 2002 pp.452-457
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