Towards the Automatic Generation of Petri nets for the OWL-S-based Complex Processes
보안공학연구지원센터(IJUNESST) International Journal of u- and e- Service, Science and Technology Vol.7 No.2 2014.04 pp.179-188
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HIGH-THROUGHPUT PROCESS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2009 p.23
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[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.26 No.1 2017 pp.6-10
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Pentacene OTFTs with $Al_2O_3$ gate insulator by Atomic Layer Deposition Process
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2003 pp.15-18
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Characteristics of Hafnium Silicate Films Deposited on Si by Atomic Layer Deposition Process
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.12 No.3 2011 pp.127-130
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Silicidation Properties of Atomic Layer Deposited Nickel Film using by Rapid Thermal Process
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.157
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OLED의 Thin Film Encapsulation을 위한 MgO 박막의 원자층 증착 장치 및 공정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.3 2021 pp.22-26
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원자층 증착법과 용액 공정법으로 성장한 전자 수송층 산화주석 박막의 페로브스카이트 태양전지 특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.33 No.11 2023 pp.475-481
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분자동역학 전산모사를 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 스탬프-레지스트 간의 상호작용 및 원자분포에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회 학술대회논문집 2007 pp.343-348
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[NRF 연계] 한양대학교 세라믹연구소 Journal of Ceramic Processing Research Vol.11 No.6 2010.12 pp.641-647
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