온도센서를 사용하지 않는 MEMS 마이크로히터 온도제어시스템
[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.55 No.11 2006 pp.544-547
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