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PEALD를 이용한 HfO2 유전박막의 Al 도핑 효과 연구

오민정, 송지나, 강슬기, 김보중, 윤창번

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.36 No.2 2023 pp.125-128

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