earticle

Synthesized Nanoparticle Trapping in Capacitively Coupled Plasma

유광호, 김정형, 유신재, 성대진, 신용현, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.578

Recent Progress of Plasma Research at the VACUUM CENTER in KRISS

유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 김대웅, 유광호, 찬탄하이, 서병훈, 나병근, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.152

Study on Argon Metastable and 4p State Neutral Atoms in Magnetized ICP and Helicon Plasmas Measured by Laser Induced Fluorescence and Plasma Emission

서병훈, 유신재, 김정형, 성대진, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.579

Helicon Discharge Plasma Source and Laser Thomson Scattering System in KRISS

서병훈, 유신재, 김정형, 성대진, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.149

A Cutoff Probe for the Measurement of High Density Plasma

유광호, 나병근, 김대웅, 유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.148

Measurement of Electron Density and Electron-neutral Collision Frequency Using Cutoff Probe Based on the Plasma Reactance Measurement

유광호, 김대웅, 나병근, 서병훈, 유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.184

A Study on Neutral Atom Heating in Inductively Coupled Plasma

서병훈, 유신재, 김정형, 성대진, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.178

Behaviors of excited states argon atom density in ICP discharge

박민, 유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.203

Cut-off Probe Frequency Spectrum의 물리적 해석

유신재, 김대웅, 김정형, 성대진, 신용현, 나병근, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.200

The improvement of cut-off probe for measuring plasma density at hard conditions

김대웅, 유신재, 김정형, 성대진, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.202

Cutoff Probe Analysis and Improvement

김대웅, 유신재, 유광호, 박민, 김정형, 성대진, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.142

진공공정 실시간 측정 기술 개발 동향

신용현, 홍승수, 임인태, 성대진, 임종연, 김진태, 김정형, 강상우, 윤주영, 유신재

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.28

Electron-neutral Collision Frequency Measurement Using Cutoff Method

유광호, 김대웅, 나병근, 장홍영, 유신재, 김정형, 성대진, 신용현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.150

KRISS 진공재료의 탈기체 측정장치 소개 및 시험의뢰된 재료 분포에 산업체 경향

성대진, 임인태, 신용현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.103

고정밀 밀도측정기 개발 연구

유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 김대웅

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.353

Plasma Research Activities in KRISS

유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 박민, 김대웅, 유광호, 서병훈, 찬탄하이

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.143

Measurement of plasma potential by a biased cut off probe

김대웅, 김정형, 성대진, 유신재, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.465

A simple analysis on the abnormal behavior of the argon metastable density in an inductively coupled Ar plasma

박민, 유신재, 김정형, 성대진, 신용현, 장홍영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.438

Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering

노기민, 유신재, 김정형, 성대진, 최시경

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.243

건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략

유신재, 김정형, 성대진, 박민, 김대웅, 신용현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.33