Design and Vibration Analysis of Tri-axis Linear Vibratory MEMS Gyroscope
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.26 No.4 2017 pp.235-238
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
2축 정전부양형 MEMS 자이로스코프의 향상된 제작 공정 개발
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.24 No.4 2015 pp.274-279
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