The effect of plamsa treatment on superconformal copper gap-fill
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.249
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.252-253
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화천 구운리와 춘천 오탄리 일대에 분포하는 각섬석 반려암체내에 존재하는 각섬석류의 산출양상 및 생성작용
[Kisti 연계] 한국암석학회 한국암석학회 학술대회논문집 2009 p.153
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Role of a passivation layer in superconformal copper gap-fill by chemical vapor deposition
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.215
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Effect of hydrogen plasma pretreatment on Cu bottom-up filling of trench with Ru barrier metal
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 p.254
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.250-251
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춘천시 오탄리 일대에 분포하는 각섬석 반려암의 암석지구화학: 예비 연구
[Kisti 연계] 한국광물학회 한국광물학회 학술대회논문집 2005 p.126
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[Kisti 연계] 대한자원환경지질학회 대한자원환경지질학회 학술대회논문집 2003 pp.189-190
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