Effects of Etch Parameters on Etching of CoFeB Thin Films in $CH_4/O_2/Ar$ Mix
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.390
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
The Influence of $O_2$ Gas on the Etch Characteristics of FePt Thin Films in $CH_4/O_2/Ar$ gas
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.408
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