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Reduction of Large Particles and Light Point Defects (LPD) by Aging and Selective Sedimentation Process in Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Lee, Byong-Seog, Kang, Hyun-Goo, Park, Kyung-Woong, Paik, Un-Gyu, Park, Jea-Gun
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2006 p.16
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