[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.24 No.6 2015 pp.237-241
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Numerical Investigation of RF Pulsing Effect on Ion Energy Distributions at RF-biased Electrodes
[Kisti 연계] 한국진공학회 Applied science and convergence technology Vol.23 No.5 2014 pp.265-272
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GPU Based Feature Profile Simulation for Deep Contact Hole Etching in Fluorocarbon Plasma
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 pp.80-81
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Calculation of the Reactor Impedance of a Planar-type Inductively Coupled Plasma Source
[Kisti 연계] 대한전기학회 Journal of electrical engineering & technology Vol.7 No.1 2012 pp.86-90
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식각공정용 가스방전에서 이온 및 활성종 밀도의 전자밀도 및 온도 의존성에 대한 수치해석적 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.6 2011 pp.422-429
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$Cl_2$/Ar 방전에서의 플라즈마 변수에 대한 이온과 라디칼 밀도 의존성 분석
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2010 p.103
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평판형 유도결합 플라즈마 장치의 SiH4/H2 방전에 대한 공간 평균 전산모사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.6 2009 pp.426-434
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고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $O_2$ 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.550-551
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이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.1924-1926
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평판형 유도결합 플라즈마 장치의 $CF_4$ 방전에 대한 Global Simulation
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2002 pp.1757-1759
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