Characteristics of sputtered ZnO thin films for active layer of TFT
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.142
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투명 박막 트렌지스터 응용을 위한 RF power에 따른 ZnO 박막 특성 분석
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 pp.248-249
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Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.21 No.7 2008 pp.660-664
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RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 ATO 박막의 열처리 효과
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 pp.270-271
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RF Magnetron Sputtering을 이용한 ATO 박막의 산소 유량에 따른 특성 변화
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.336-337
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RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 ATO박막의 열처리에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 p.335
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Hard coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 p.354
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