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ZnO 박막트랜지스터의 어닐링 조건에 따른 전류 변화

유덕연, 김형주, 김준영, 조중열

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.13 No.1 2014 pp.63-66

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