3중 접합 공정에 의한 MEMS 공진기의 웨이퍼레벨 진공 패키징
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.29 No.5 2020 pp.354-359
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저항성 홀배열이 적용된 볼로미터의 적외선 흡수 특성 변화
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.27 No.5 2018 pp.306-310
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Electro-Thermal Modeling and Experimental Validation of Integrated Microbolometer with ROIC
[Kisti 연계] 대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science Vol.16 No.3 2016 pp.367-374
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Optimization of Etching Profile in Deep-Reactive-Ion Etching for MEMS Processes of Sensors
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.24 No.1 2015 pp.10-14
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[Kisti 연계] 대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science Vol.15 No.5 2015 pp.533-538
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Ag/Ni 나노다층박막의 경도에 미치는 Bilayer 두께의 영향
[Kisti 연계] 한국복합재료학회 한국복합재료학회 학술대회논문집 2004 pp.23-26
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