Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 SiNx박막의 수소농도 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.3 2008 pp.215-219
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Oxidation Mechanism of Si in the Growth of $SiO_x$ Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2003 p.67
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