[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2009 p.58
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A Study on Kinematical Modeling and Analysis of Double Side Wafer Polishing Process
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2009 p.485
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CMP에서 리테이너링의 압력에 따른 연마율 프로파일과 응력 분포 해석
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2009 pp.482-483
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화학기계적 연마에 의한 리튬니오베이트의 광학 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.33 No.3 2009 pp.196-200
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2008 pp.355-356
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미세 표면 구조물을 갖는 패드의 제작 및 STI CMP 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.21 No.3 2008 pp.203-207
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화학 기계적 연마에 의한 리튬 니오베이트의 광학 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 pp.121-122
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.523-524
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.20 No.3 2007 pp.213-217
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.79-80
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Consumable Approaches of Polysilicon MEMS CMP
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.7 No.4 2006 pp.157-162
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마이크로 구조를 가진 패드를 이용한 MEMS CMP 적용에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2006 pp.481-482
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MEMS CMP에서 모니터링 시스템을 이용한 슬러리 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.573-574
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.649-650
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연마불균일도에 영향을 미치는 패드 표면특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.38-39
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Cu CMP에서 스틱-슬립 마찰과 스크래치에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.653-654
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.360-361
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