임피던스 정합장치 내 위상센서를 이용한 RF정합 알고리즘 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.2 2022 pp.32-37
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Abnormal Detection in 3D-NAND Dielectrics Deposition Equipment Using Photo Diagnostic Sensor
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.2 2022 pp.74-84
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Aerosol Deposition Nozzle Design for Uniform Flow Rate: Divergence Angle and Nozzle Length
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.2 2022 pp.38-44
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Characterization of Gas Phase Etching Process of SiO2 with HF/NH3
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.21 No.2 2022 pp.45-50
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인공면역체계를 이용한 플라즈마 증착 장비의 유량조절기 오류 검출 실험 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.4 2021 pp.161-166
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Ball Grid Array Solder Void Inspection Using Mask R-CNN
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.2 2021 pp.126-130
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CFD Study for the Design of Coolant Path in Cryogenic Etch Chuck
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.2 2021 pp.92-97
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.2 2021 pp.19-24
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가스 유량 변화에 따른 식각 공정 결과: VI Probe 활용 가능성 제안
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.3 2021 pp.27-31
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.4 2020 pp.18-21
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.2 2020 pp.77-81
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.4 2020 pp.121-125
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.2 2019 pp.44-47
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Modeling with Thin Film Thickness using Machine Learning
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.2 2019 pp.48-52
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반도체 장비상태 모니터링을 위한 SCADA 시스템 구현
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.4 2019 pp.92-95
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실시간 플라즈마공정 모니터링을 위한 Self Plasma-Optical Emission Spectroscopy 성능 향상
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.16 No.2 2017 pp.75-78
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.17 No.5 2016 pp.280-288
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Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.16 No.6 2015 pp.312-316
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Fault Diagnosis in Semiconductor Etch Equipment Using Bayesian Networks
[Kisti 연계] 대한전자공학회 Journal of semiconductor technology and science Vol.14 No.2 2014 pp.252-261
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Quantitative Evaluation Method for Etch Sidewall Profile of Through-Silicon Vias (TSVs)
[Kisti 연계] 한국전자통신연구원 ETRI journal Vol.36 No.4 2014 pp.617-624
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