Dry Etching Characteristics of Zinc Oxide Thin Films in Cl<SUB>2-Based Plasma
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.12 No.2 2011 pp.60-63
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Damage on the Surface of Zinc Oxide Thin Films Etched in Cl-based Gas Chemistry
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.12 No.2 2011 pp.51-55
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