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A review : atomic layer etching of metals

Yun Jong Jang, Hong Seong Gil, Gyoung Chan Kim, Ju Young Kim, Chang Woo Park, Do Seong Pyun, Ji Yeon Lee, Geun Young Yeom

[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.57 No.3 2024 pp.125-139

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