Fault Detection of Plasma Etching Processes with OES and Impedance at CCP Etcher
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.257
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충적대수층 조사를 위한 모래와 점토의 유도분극 특성 고찰
[Kisti 연계] 대한지질공학회 지질공학 Vol.18 No.4 2008 pp.423-431
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[Kisti 연계] 한국지구물리물리탐사학회 한국지구물리물리탐사학회 학술대회논문집 2008 pp.179-184
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[Kisti 연계] 한국공작기계학회 한국공작기계기술학회지 Vol.16 No.1 2007 pp.47-52
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[Kisti 연계] 한국공작기계학회 한국공작기계기술학회지 Vol.16 No.1 2007 pp.69-74
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[Kisti 연계] 대한전기학회 電氣學會論文誌 Vol.56 No.8 2007 pp.1514-1520
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