Removal of Organic Wax and Particles on Final Polished Wafer by Ozonated DI Water
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.18 No.6 2008 pp.307-312
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연마 Recycling 시간에 따른 콜로이드 실리카 슬러리의 안정성 및 연마속도
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.44 No.2 2007 pp.98-102
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Recycle 시간에 따른 실리콘 연마용 슬러리 입자 및 연마 속도
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.59-60
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오존과 초음파를 이용한 실리콘 웨이퍼의 Post Sliced Cleaning
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.2 2006 pp.75-79
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다이아몬드 컨디셔너 조건에 따른 폴리싱 패드의 표면 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.55-56
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.360-361
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적외선 센서를 위해 흡수층으로서 rf Magnetron Sputtering에 의해 제조된 NiCr 박막의 특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.13 No.10 2003 pp.640-644
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반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.10 No.11 2000 pp.749-764
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Effect of Pt Top Electrode on Hydrogen Forming in Ferroelectric Capacitors
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회 학술대회논문집 2000 p.182
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유기화학기상증착법에 의해 poly-Si위에 증착된 Pt/Ru 하부전극의 특성연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1999 p.23
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