PROPERTIES OF Mo COMPOUNDS AS A DIFFUSION BARRIER BETWEEN Cu AND Si PREPARED BY CO-SPUTTERING
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.32 No.3 1999 pp.433-439
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
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