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미래통신을 위한 Tera Hertz 기술 동향

방승찬, 변우진, 박윤옥, 홍성철

[Kisti 연계] 한국전자파학회 한국전자파학회지 Vol.29 No.4 2018 pp.9-25

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물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환, 홍성철, 조한구, 안진호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.1 2016 pp.17-21

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EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석

우동곤, 김정환, 김정식, 홍성철, 안진호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.3 2016 pp.35-39

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스핀코터를 이용한 박막의 기계적 안정성 평가

김지은, 김정환, 홍성철, 조한구, 안진호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.1 2016 pp.6-11

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