Co/Al 다층 박막 구조 시스템에서의 열처리에 따른 계면 반응에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국현미경학회 Applied microscopy Vol.30 No.3 2000 pp.249-254
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산소 열처리에 따른 $ZrO_2$ 게이트 유전막의 특성
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회 학술대회논문집 2000 p.147
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열처리에 따른 Reactive DC 마그네트론 스퍼터로 증착한 $CeO_2$ 박막의 미세구조와 전기적 특성 평가
[Kisti 연계] 한국현미경학회 한국현미경학회 학술대회논문집 1999 pp.47-50
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열처리에 따른 $Y_2O_3$ 박막의 미세 구조 변화와 전기적 특성 변화에 대한 고찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.8 No.a3 1999 pp.218-223
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Co/Ti 다층 박막 구조 시스템에서의 계면 반응에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국현미경학회 Applied microscopy Vol.29 No.2 1999 pp.255-263
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r.f.PACVD를 이용한 Si이 첨가된 DLC 필름의 미세구조 및 기계적 특성 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.137
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플라즈마 이온주입(Plasma Immersion Ion Implantation, PIII) 방법으로 Boron 도핑된 실리콘 기판의 도펀트 활성화와 기판손상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.184
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HVCVD를 이용한 다결정 SiGe 박막의 증착 및 활성화 메카니즘 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.66
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기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.35 No.8 1998 pp.813-818
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Sputter Seeding을 이용한 CVD Cu 박막의 비선택적 증착 및 기판의 영향
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.35 No.8 1998 pp.827-835
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기판 조건에 따른 TiSi$_2$박막의 형성 및 전기적 특성 변화 고찰
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.35 No.11 1998 pp.1141-1147
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초미소압입시험기 (Nanoindenter)를 이용한 다이아몬드상 카본필름의 기계적 특성평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.110-111
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