[Kisti 연계] 한국인지과학회 인지과학 Vol.21 No.4 2010 pp.459-480
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
열처리에 의한 Bi 및 Te 전구체의 기상변화에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.50
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Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.41
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사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 $H_2$ 및 CO의 부분압 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.40
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ISPM을 이용한 Silane PECVD 공정 중 발생하는 오염입자 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.338
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반응가스로 $H_2$ 및 $H_2O$를 사용한 $Co(hfac)_2$ 전구체의 플라즈마에 대한 영향 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.239
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.6 2009 pp.411-417
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첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.313
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QMS 이온소스 anode의 charging effect가 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.302
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TDMAT precursor를 이용한 MOCVD 증착 공정 중 발생하는 오염입자 실시간 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.210
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사중극 질량 분석기(QMS)를 이용한 혼합기체 조성분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.213
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사중극 질량 분석기의 이온소스 오염이 이온전류에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.3 2009 pp.197-202
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Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.150
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반도체 장비용 Al2O3 코팅 진공부품의 내부식성 평가 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.3 2008 pp.175-182
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