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나노미터 영역 길이 측정 위한 미터 소급성을 갖는 원자간력 현미경 개발

김종안, 김재완, 박병천, 엄태봉, 홍재완

[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.21 No.11 2004 pp.75-82

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