리소그라피 모의실험을 위한 전자빔용 감광막의 현상 변수 측정과 프로파일 분석
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A Vol.a33 No.7 1996 pp.198-204
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