Dicobalt hexacarbonyl tert-butylacetylene와 ozone을 이용한 cobalt oxide의 원자층 증착 공정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.113
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Biased Thermal Stress 인가에 의한 TSV 용 Cu 확산방지막 Ti를 통한 Cu drift 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.179
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