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스퍼터 공정변수가 팔라듐 합금 수소분리막의 특성에 미치는 영향
한재윤, 주새롬, 이준형, 박동건, 김동원
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.46 No.6 2013 pp.248-257
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