균일한 입도분포를 가진 큰 입자(120nm)로 구성된 친환경적인 반도체 연마제용 Colloidal Silica 개발
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.129-131
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.8 No.b3 1999 pp.333-339
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