[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.12 No.10 1999 pp.19-28
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.13 No.6 1996 pp.45-51
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스프레이 슬러리 노즐 시스템에서 슬러리 유동이 Cu CMP에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.34 No.2 2017 pp.101-106
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Al CMP에서 과산화수소와 옥살산이 재료제거에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.34 No.5 2017 pp.307-310
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염화칼륨 농도에 따른 사파이어 기판 CMP에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국윤활학회 Journal of the Korean society of tribologists and lubrication engineers Vol.33 No.5 2017 pp.228-233
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정반 그루브의 형상치수가 사파이어 기판의 연마특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국윤활학회 Journal of the Korean society of tribologists and lubrication engineers Vol.32 No.4 2016 pp.119-124
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.33 No.1 2016 pp.31-35
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고정 입자 정반을 이용한 사파이어 기판의 연마 특성 연구
[Kisti 연계] 한국윤활학회 Journal of the Korean society of tribologists and lubrication engineers Vol.32 No.2 2016 pp.44-49
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선형 롤 CMP에서 플로팅 노즐을 이용한 연마 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.32 No.7 2015 pp.627-631
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카드뮴 텔룰라이드 CMP 공정에서 산화제가 연마에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.32 No.1 2015 pp.69-74
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[Kisti 연계] 한국윤활학회 Journal of the Korean society of tribologists and lubrication engineers Vol.31 No.3 2015 pp.79-85
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콜로이달 실리카 입자 형상에 따른 CMP 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.38 No.9 2014 pp.1037-1041
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[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.38 No.8 2014 pp.863-867
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[Kisti 연계] 한국윤활학회 Journal of the Korean society of tribologists and lubrication engineers Vol.30 No.3 2014 pp.139-145
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산화막CMP의 연마균일도 향상을 위한 웨이퍼의 에지형상제어
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.29 No.3 2012 pp.289-294
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계면활성제 함량 조절을 통한 구리 하이브리드 구조물의 화학 기계적 평탄화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.22 No.11 2012 pp.587-590
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.24 No.1 2011 pp.17-21
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산화막 CMP에서 패드 두께가 연마율과 연마 불균일도에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.23 No.5 2010 pp.358-363
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화학기계적 연마에 의한 리튬니오베이트의 광학 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.33 No.3 2009 pp.196-200
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