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극한 환경용 마이크로.나노 센서 및 엑츄에이터 동향

정귀상

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.28 No.2 2015 pp.7-17

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

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SiC M/NEMS 연구개발 현황

정귀상

[Kisti 연계] 전력전자학회 전력전자학회지 Vol.14 No.1 2009 pp.26-33

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극한 환경 MEMS용 2" 3C-SiC기판의 직접접합 특성

정귀상

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.16 No.8 2003 pp.700-704

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고온용 세라믹 박막형 압력센서의 제작과 그 특성

정귀상

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.16 No.9 2003 pp.790-794

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SDB SOI 흘 센서의 온도 특성

정귀상

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1995 pp.227-229

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마이크로 압력센서의 기술동향

정귀상

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.8 No.1 1995 pp.102-113

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실리콘기판 직접접합기술을 이용한 SOI 홀 센서의 제작과 그 특성

정귀상

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.8 No.2 1995 pp.165-170

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