LIGA process용 X-ray mask 공정 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2001 p.86
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ECR Plasma CVD를 이용한 LIGA용 X-ray mask membrane SiCxNy 박막의 증착
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2000 pp.31-34
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.
- 구매 불가 논문
-