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ZnO 스퍼터링에서 기판전압의 변화에 의한 성장 조절

최재원, 전원진, 조중열

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.16 No.2 2017 pp.94-97

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