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$CrF_x$ 변조 위상 변위마스크의 모사 연구
김은아, 홍승범, 장종도, 배병수, 노광수, 임성출, 우상균, 고영범
[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회 학술대회논문집 1996 p.54
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