[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2006 pp.479-480
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.569-570
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.374-375
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구연산이 Copper Chemical Mechanical Polishing에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.565-566
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.372-373
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MEMS CMP에서 모니터링 시스템을 이용한 슬러리 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.573-574
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마이크로 표면 구조를 가지는 CMP 패드의 연마 특성 평가
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.651-652
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마이크로 표면 구조물을 갖는 패드의 STI CMP 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.356-357
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Lithium Tantalate (LiTaO3) 웨이퍼의 CMP에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.29 No.9 2005 pp.1276-1281
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