중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.406
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Ar 중성빔과 $BCl_3$를 이용한 $ZrO_2$의 원자층 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 p.107
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Ar neutral beam을 이용한 $ZrO_2$ 원자 층 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.300
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Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.94
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저에너지 Fluorine-based 중성빔 incorporation 공정을 이용한 $Al_2O_3$ gate 절연막 특성향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.302
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Ne 중성빔을 이용한 InP 의 원자층 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.84
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